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一、模擬信號模擬量的質量流量控制器可PLC控制 的MFC 產品概述：
◆熱式原理，響應快，精度高
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量
ACU10FA-LH 質量流量控制器由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
ACU10FA-LH 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
二、產品應用：
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金
環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統
三、模擬信號模擬量的質量流量控制器可PLC控制 的MFC 產品參數：
（下述僅為列舉參數，如有不同需求請另行咨詢。）
量程范圍 | 5SCCM ～300SLM |
準確度 | ±1.0%F.S |
溫度：±1℃ | |
線性 | ±0.5%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時間 | <1.5s |
模擬量 | 0～5V，4～20mA |
供電 | ±15VDC，24VDC |
工作溫度 | 0～50℃ |
工作壓力 | 工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
電氣連接 | DB9孔 |
漏率 | 1×10-9SCCSHe |
溫度系數 | ±0.015%F.S/℃ |
底座材質 | 不銹鋼 |
密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠 |
接頭 | φ8，φ10，φ12 |
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