沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)

一、產(chǎn)品概述： 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)  

u 可快速精確測(cè)量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對(duì)介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時(shí)開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無(wú)可移動(dòng)組件和熱元件，通過(guò)抗振動(dòng)測(cè)試，對(duì)安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)

u 提供用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

-- 已廣泛應(yīng)用于沉積工藝領(lǐng)域，如陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設(shè)備。

-- 多變量測(cè)量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺(tái)熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)便可取代多臺(tái)設(shè)備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間，確保高溫的過(guò)程氣體可以流暢的工作。

三、技術(shù)參數(shù)：沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)